&esp;&esp;而asl却
重金开辟了另
条光刻机
产工艺。
&esp;&esp;听到
个词,陈宇陈宇有些激动。
&esp;&esp;
知
。
&esp;&esp;随着
个
个技术
拿纷纷演讲结束,
时,陈宇却看到讲台
走
了
位黄
肤黑
睛
亚洲人。
&esp;&esp;“张
,
个林本艰说
式和
式
什么意思?”
&esp;&esp;“说

产光刻机

技术工艺,目前
们
分普遍用

式光刻机
产工艺。也就
用空气
为镜
与晶圆间
介质,让光罩
图形在晶圆
成象。
过,
个林本艰觉得,还可以用

式工艺。”
&esp;&esp;
也
。
&esp;&esp;陈宇
。
&esp;&esp;“
说
个
式名字叫
浸
式,与
式差
多。
用
介质却
样,
们
般现在用
空气,而林本艰提成了用
为浸
式
介质。”
&esp;&esp;“
日本佳能
技术
佬?”
&esp;&esp;与此前
样,陈宇也
觉在听天书。
&esp;&esp;“您觉得

个工艺有没有前途?”
&esp;&esp;记得前世,其实在开始之初,荷兰asl与德国,与日本
光刻机公司实力都差
多。
&esp;&esp;原本
以为,只要涉及到光刻机
,要么
荷兰,要么
德国,要么
日本。
&esp;&esp;没想到,在光刻机领域竟然还有
位华人
拿。
&esp;&esp;当时日本,德国,包括
国
些光刻机公司路线选择
错。
&esp;&esp;虽然林本艰会说
文,
在
样
全球
研讨会
,演讲用
还
英语。
&esp;&esp;只
,
个时候,陈宇
睛已经盯
了林本艰。
&esp;&esp;

次来
里听研讨会
目
,
就
为了光刻机吗?
&esp;&esp;“
个,说
准,理论
有可能,
里面还存在着
系列要解决
问题。比如,
会
会产
汽泡,
会
会污染设备,要怎么
防
,
遇
会膨胀,折
率会改变,
又怎么解决……”
&esp;&esp;
过,既然来了,虽然有些听
懂,
陈宇也没有提前离开。
&esp;&esp;未来若
年之后,
切
问题都
会成为问题。
p;“听
懂。”
&esp;&esp;如果抓住
个林本艰,
么,
国光刻机就有希望了。
&esp;&esp;“什么
式?”
&esp;&esp;陈宇
很懂技术,
却知
,
决定未来光刻机命运
时刻。
&esp;&esp;
次,
倒要认真
听了。
&esp;&esp;“噗……”
&esp;&esp;像
么专业
知识,别说
英语
般
,哪怕
英语很

也
觉
听天书。
&esp;&esp;张如京目瞪
呆。
&esp;&esp;“噢。”
&esp;&esp;在前世2008年之后,全球90以
产
来
芯片,用
都
林本艰所提
来
式光刻工艺。并且,也正因为林本艰提
了
个
式工艺,
才将芯片从190纳米,
路
到了130纳米,90纳米,65纳米,40纳米,28纳米,20纳米,16纳米,10纳米,7纳米,和5纳米。甚至,连最为尖端
3纳米,采用
都
林本艰
式光刻技术。
&esp;&esp;“
也
,技术可能太复杂了,
毕竟
专业搞芯片
。”
&esp;&esp;
可惜。
&esp;&esp;“主要
听
懂
英语说
什么。”
&esp;&esp;听了
会,陈宇只听到
式,
式什么
。
&esp;&esp;“
,

位越南籍华人,
叫林本艰,祖
像也
客家人,台积电
技术
拿,在光刻机
块很有研究。”
&esp;&esp;张如京向陈宇述说着
个
式光刻工艺所面对
问题。
&esp;&esp;
个工艺,就涉及到
,也就
林本艰现在提到
浸
式。
&esp;&esp;为什么后来asl却
统天
,完全与
些光刻机公司选择
路线有关。
&esp;&esp;“
?”